LM 100 - Automatisierte Arbeitsplätze

Das LM 100 Mikroskop (siehe auch micro info catalogue no.: 40-505 e/3.96) von Carl Zeiss vereint alle Prüf- und Meßaufgaben in einem Arbeitsplatz. Da das LM 100 die hervorragende optische Qualität des Axiotron 2 besitzt und eine ganze Reihe von Kontrastierverfahren ermöglicht, ist es besonders zur Prüfung und Messung von großen Substraten von bis zu 550 x 550 mm geeignet.

Zur Unterstützung bei der optischen Prüfung und Kontrolle und bei der Messung von CDs und Overlays benutzt das System die leistungsfähige Anwendungssoftware WIS 8000. Zusätzliche mögliche Anwendungen sind Schichtdickenmessungen und Farbanalysen. Das Paket der Anwendungssoftware WIS 8000 bietet eine benutzerfreundliche Umgebung, die es dem Benutzer erlaubt, Positionierprogramme zu erstellen und alle automatisierten Systemkomponenten zu steuern.

Das LM 100 verwendet die Optik des Axiotron 2 mit dem Zeiss ICS (Infinity Color-corrected System) und liefert daher brilliante, farbtreue Bilder mit hohem Kontrast. Der Benutzer betrachtet ein aufrechtes und seitenrichtiges Bild, sei es im Hellfeld, Dunkelfeld, in DIC, Polarisation oder Fluoreszenz. Die im Axiotron 2 integrierte Elektronik ermöglicht die vollständige Automatisierung aller Betriebsmodi. Zusammen mit einem intelligent gestalteten Bedienfeld ermöglicht dies dem Benutzer die volle Kontrolle aller Funktionen, ohne sich mit Einzelheiten befassen zu müssen.

Beim Wechsel von Objektiven oder Reflektoren nehmen die Lampenintensität, die Blendengröße und die DIC Einstellung automatisch vordefinierte Werte an. Die Werte sind so eingestellt, daß sie ein optimales Bild für diese Gerätezusammenstellung ergeben. Diese eingelernten Parameter sind im Mikroskop gespeichert und können mit manuellen Bedienelementen außer Kraft gesetzt werden. Diese intelligente Automatisierung führt dazu, daß die Ausbildungszeit für die Benutzer praktisch entfällt.

Das LM 100 kann einen Substrathandler aufnehmen. Die integrierte Mustererkennung bietet voll automatische Meßroutinen. Das Simultanspektrometer MCS ermöglicht schnellste Schichtdickenmessung für eine Vielzahl von Schichten (siehe die Zeiss Produktinformation T-8157). Der Controller des Mikroskopsystems erlaubt den Zugriff auf alle Untersysteme und Verbindungen/ Anschlüsse und Fernbedienung. Das Gerät ist für die Benutzung mit SECS-II und LAN Interfaces vorbereitet.

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