Die Aufgaben in der Waferinspektion erfordern ein Höchstmaß an Flexibilität bei den Mikroskop-Einstellungen, um immer ein optimales Bild zu erhalten. Die dazu notwendigen Einstellungen mußten bisher häufiger vom Operator in der Produktionslinie vorgenommen werden.

Jetzt hat Carl Zeiss mit dem Inspektionsmikroskop Axiotron 2 konsequent den Weg zu einer "Ein-Knopfdruck" Philosophie gewählt und sämtliche Einstellungen motorisiert und vorprogrammierbar gestaltet: Ob im Hellfeld, Dunkelfeld, im DIC-Kontrast (Differential-Interferenz-Kontrast) oder in Fluoreszenz beobachtet werden soll - stets sind Lampenhelligkeit, Kontrast (Aperturblende), Analysatorposition und Fokus für jede Vergrößerung mit einem einzigen Knopfdruck abrufbar.

Optimale Bildqualität ist somit nicht mehr nur von der Geduld und von der Erfahrung des Anwenders abhängig. Die optimale Leistung des Mikroskops ist objektiv reproduzierbar und für jeden Anwendungsfall speziell optimiert. Damit reduziert sich auch die Einarbeitungszeit für den Operator auf ein absolutes Minimum.

Ein neuartiger motorischer Reflektor-Revolver bietet Platz für bis zu vier Reflektoren: Hellfeld, Dunkelfeld, DIC und Fluoreszenz können in beliebiger Reihenfolge eingesetzt werden. Eine Umkonfigurierung ist problemlos und schnell möglich.

Das Inspektionsmikroskop Axiotron 2 ist für Wafer bis zu einer Größe von 200 mm geeignet und kann mit der Durchlichtoption auch für die Maskeninspektion (4"x4" bis 8"x8") eingesetzt werden. Zusätzlich zu dem kompakten Bedienpult lassen sich alle Mikroskopfunktionen über die serienmäßige RS 232 Schnittstelle steuern. Damit ist das Axiotron 2 die Basis für integrierte System-Lösungen, wie z.B. eine automatische Review&Inspektionsstation, Linienbreiten- und Schichtdickenmeßgeräte sowie im Fehleranalyse-Labor für Photoemission und Bildarchivierung.

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