Carl Zeiss, Axiowis 8000


MIKROSKOPE FÜR DIE MIKROELEKTRONIKINDUSTRIE / SYSTEME ZUR WAFERINSPEKTION
Wafer-Inspektionssystem Axiowis 8000 für die Halbleiterproduktion Axiowis 8000 besteht aus drei Hauptkomponenten: dem vollautomatischen, rechnergesteuerten Wafer-Inspektionsmikroskop Axiomos, dem kompakten, vollgekapselten Wafer-Handhabungsroboter und dem Softwarepaket WIS 8000, vorbereitet für CD- und Schichtdicken- Meßprogramme. Das Inspektionsmikroskop Axiomos bietet dem Benutzer die Möglichkeit, zwischen Hellfeld, Dunkelfeld sowie Differential-Interferenz-Kontrast (DIC) zu wählen. Das Gerät ist mit der bewährten Zeiss ICS (Infinity Color-Corrected System) -Hochleistungsoptik ausgerüstet und hat ein großes Sehfeld von 25 mm. Weitere Merkmale sind ein kontinuierlich arbeitender Laser-Autofocus, ein hochpräziser motorisierter Scanningtisch in der Größe von 200 mm x 200 mm sowie ein Ergotubus. Zum Inspektionsmikroskop Axiomos gehört ein Systemkontroller mit integriertem, PC-DOS kompatiblem Rechner sowie den Hardwareeinheiten zur Systemsteuerung. Fernsteuerung und/oder Datenaustausch von und zu übergeordneten Rechnern sind möglich. Eine LAN-Schnittstelle und ein Kompaktspektrometer für Schichtdickemessungen können in den Mikrokomputer integriert werden. Ein entschendendes Leistungsmerkmal des Drei-Achsen-Roborters ist eine berührungsfreie arbeitende elektro-optische Waferzentrier- und Flat/Notch-Ausrichteinheit. Die Wafer werden nur an ihrer Unterseite mit Vakuumgreifern gehalten und durch servo-kontrollierte Bewegungen schonend transportiert. Die Vollkapselung des Handhabungssystems sichert weitesgehende Kontaminationsfreiheit. Das Wafer-Handhabungssystem wird mit drei Kassetten für Wafer bis zu einem Durchmesser von 150 mm oder mit zwei Kassetten für Wafer von 200 mm angeboten. Die neue Software WIS 8000 läßt sich einfach bedienen und bietet vielfältige graphische Unterstützung bei der Erstellung benutzerspezifischer Inspektionsprogramme. Dabei können Standard-Tastatur und/oder Maus sowie ein Bedienpult mit vier programmierbaren Tasten als Eingabeeinheiten dienen. Durch Tasten ausgelöste Fenstereinblendung erleichtern die Benutzerführung
Homepage \| Unternehmensbereich \| Produkte Anfragen und Hinweise richten Sie bitte an [email protected].

MIKROSKOPE FÜR DIE MIKROELEKTRONIKINDUSTRIE /
SYSTEME ZUR WAFERINSPEKTION

Wafer-Inspektionssystem Axiowis 8000 für die Halbleiterproduktion

Axiowis 8000 besteht aus drei Hauptkomponenten:

dem vollautomatischen, rechnergesteuerten Wafer-Inspektionsmikroskop Axiomos,
dem kompakten, vollgekapselten Wafer-Handhabungsroboter
und dem Softwarepaket WIS 8000, vorbereitet für CD- und Schichtdicken- Meßprogramme.

Das Inspektionsmikroskop Axiomos bietet dem Benutzer die Möglichkeit, zwischen Hellfeld, Dunkelfeld sowie Differential-Interferenz-Kontrast (DIC) zu wählen.
Das Gerät ist mit der bewährten Zeiss ICS (Infinity Color-Corrected System) -Hochleistungsoptik ausgerüstet und hat ein großes Sehfeld von 25 mm. Weitere Merkmale sind ein kontinuierlich arbeitender Laser-Autofocus, ein hochpräziser motorisierter Scanningtisch in der Größe von 200 mm x 200 mm sowie ein Ergotubus.

Zum Inspektionsmikroskop Axiomos gehört ein Systemkontroller mit integriertem, PC-DOS kompatiblem Rechner sowie den Hardwareeinheiten zur Systemsteuerung. Fernsteuerung und/oder Datenaustausch von und zu übergeordneten Rechnern sind möglich. Eine LAN-Schnittstelle und ein Kompaktspektrometer für Schichtdickemessungen können in den Mikrokomputer integriert werden.

Ein entschendendes Leistungsmerkmal des Drei-Achsen-Roborters ist eine berührungsfreie arbeitende elektro-optische Waferzentrier- und Flat/Notch-Ausrichteinheit. Die Wafer werden nur an ihrer Unterseite mit Vakuumgreifern gehalten und durch servo-kontrollierte Bewegungen schonend transportiert. Die Vollkapselung des Handhabungssystems sichert weitesgehende Kontaminationsfreiheit. Das Wafer-Handhabungssystem wird mit drei Kassetten für Wafer bis zu einem Durchmesser von 150 mm oder mit zwei Kassetten für Wafer von 200 mm angeboten.

Die neue Software WIS 8000 läßt sich einfach bedienen und bietet vielfältige graphische Unterstützung bei der Erstellung benutzerspezifischer Inspektionsprogramme. Dabei können Standard-Tastatur und/oder Maus sowie ein Bedienpult mit vier programmierbaren Tasten als Eingabeeinheiten dienen. Durch Tasten ausgelöste Fenstereinblendung erleichtern die Benutzerführung

Homepage | Unternehmensbereich | Produkte

Anfragen und Hinweise richten Sie bitte an [email protected].