Das Schichtdickenmeßsystem Axiospeed von Carl Zeiss wurde speziell für die Halbleiterproduktionskontrolle entwickelt. Es zählt zu einem der schnellsten Meßsysteme für die Schichtdickenbestimmung mit mehr als zwei Messungen pro Sekunde. Die Meßmethode beruht auf der Auswertung des Interferenzspektrums von reflektiertem weißen Licht an transparenten oder teiltransparenten Schichten.

In Abhängigkeit von der Schichtdicke werden von der benutzerfreundlichen Software automatisch zwei verschiedene Algorithmen zur Berechnung eingesetzt: für dünne Schichten nach der Interferenzmethode und für dicke mit Hilfe der Fourieranalyse. Der gesamte Meßbereich erstreckt sich von einigen Nanometern bis über 150 µm.

Die neue Software Film 6.0 hat eine graphische Benutzeroberfläche, deren Basis kompatibel ist mit anderen Softwarepaketen, die für Zeiss Meß- und Inspektionsmikroskope angeboten werden. Außerdem hat diese Software einen neuen "Fitting-Algorithmus", der zur spektralen Auswertung das gemessene Spektrum mit einem rechnerisch ermittelten Modellspektrum vergleicht.

Die optischen Materialkonstanten für Standardschichten wie Siliziumoxyd, Siliziumnitrid (auch als Zwischenschicht in Mehrschichtsystemen), Photolack positiv oder negativ, Polyimide, Polysilizium sowie die am meisten verwendeten Substrate Aluminium, Silizium und Glas sind vorprogrammiert und können mit beliebig vielen kundenspezifischen Materialparametern ergänzt werden.

Um den Anforderungen nach einem stabilen Inspektionsmikroskop, das bis zu 8"-Wafer handhaben kann, gerecht zu werden, wird das Zeiss System Axiotron eingesetzt. Als Meßdetektor steht ein Diodenzeilenspektrometer zur Verfügung, welches das spektrale Interferenzmuster simultan erfaßt und, in Verbindug mit einem PC 486/33, eine sehr schnelle Dickenberechnung ermöglicht.

Ein herausragendes Merkmal des Schichtdickenmeßgerätes Axiospeed ist die vollkommene Wartungsfreiheit auf Lebenszeit, die sich aus dem kompakten Aufbau von Gitter und Diodenzeile in einem einzigen Keramikgehäuse ableitet.

Das breite Angebot vom einfachen preisgünstigen Meßzusatz für Zeiss Mikroskope bis zu vollautomatischen bildverarbeitungsunterstützten Meßsystemen für Betrieb von Kassette zu Kassete erlauben die volle Kompatibilität des Schichtdickenmeßgerätes Axiospeed mit dem Inspektionssystemprogramm von Carl Zeiss.

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